pp电子华为新专利获批提高晶圆对准效率和对准精度

　　pp电子官方网站IT之家12 月 16 日消息，根据国家知识产权局公示的清单，华为公司于 12 月 12 日获得一项新技术专利pp电子，

　　该专利名为《晶圆处理装置和晶圆处理方法》，公开号 CN117219552A，申请日期为 2022 年 6 月。

　　光源pp电子，相对于光栅板固定；以及成像元件，固定设置在机械臂上，并且适于接收从光源发出的、透过光栅板的光。

　　控制器被配置成基于成像元件对接收到的光的检测，控制机械臂或机械臂上的调整装置来调整晶圆的位置pp电子。

　　其中，在晶圆载台承载晶圆的情况下pp电子，光栅板和成像元件分别位于晶圆载台的上表面所在平面相对两侧，上表面用于承载晶圆。

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